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유도결합 플라즈마를 이용한 플라스틱 기판 상의 투명전도성 ZnO:Al 박막 증착 공정 연구 : Al doped zinc oxide films on the plastic substrate by inductively coupled plasma assisted sputtering
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이정중 | - |
| dc.contributor.author | 정승재 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-18 | - |
| dc.date.available | 2009-11-18 | - |
| dc.date.copyright | 2006. | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000048697 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/12623 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2006. | kor |
| dc.format.extent | 130 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | Al doped ZnO | kor |
| dc.subject | Al doped ZnO | kor |
| dc.subject | ICP | kor |
| dc.subject | ICP | kor |
| dc.subject | 유도결합 플라즈마 | kor |
| dc.subject | inductively coupled plasma | kor |
| dc.subject | 타겟 전압 조절법 | kor |
| dc.subject | target voltage control | kor |
| dc.subject | 저온 증착 | kor |
| dc.subject | low temperature deposition | kor |
| dc.subject | 플라스틱 기판 | kor |
| dc.subject | plastic substrate | kor |
| dc.title | 유도결합 플라즈마를 이용한 플라스틱 기판 상의 투명전도성 ZnO:Al 박막 증착 공정 연구 | kor |
| dc.title.alternative | Al doped zinc oxide films on the plastic substrate by inductively coupled plasma assisted sputtering | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | kor |
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