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엔탈피 탐침법과 방출분광분석법을 이용한 직류·고주파 혼성 플라즈마의 특성 진단
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- Authors
- Advisor
- 홍상희
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 직류․고주파 혼성 플라즈마 ; Dc-rf hybrid plasma ; 엔탈피 탐침법 ; Enthalpy probe method ; 방출분광분석법 ; Optical emission spectroscopy ; 방전특성 ; Discharge characteristics ; sheath 기체 영향 ; Effects of sheath gas flow ; 열플라즈마 온도 및 속도 분포 ; Temperature and velocity profiles of thermal plasma
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :원자핵공학과 핵융합전공,2004.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000055482
https://hdl.handle.net/10371/12775
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