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MILC 거동에 미치는 도펀트 효과에 관한 연구 : (A)Study on the effect of dopants on the MILC behavior
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 저온 다결정 실리콘 ; Low temperature poly-Si ; 박막 트랜지스터 ; Thin film transistor ; 금속 유도 측면 결정화 ; Metal induced lateral crystallization (MILC) ; 도펀트 ; Dopant ; 이온 질량 주입 ; IMD ; 이온 implant ; Ion implant ; 니켈-오프셋 ; Ni-offset
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057332
https://hdl.handle.net/10371/12845
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