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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)
Dept. of Chemical and Biological Engineering (화학생물공학부)
Theses (Master's Degree_화학생물공학부)
EUV absorber로 사용되는 TaN 막질의 식각특성 및 TaN 패턴 측벽각도가 EUVL에 미치는 영향
- Authors
- 장일용
- Advisor
- 문상흡
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- EUVL; EUVL; 마스크; mask; absorber; absorber; TaN; TaN; 플라즈마; Plasma; 패러데이 상자; Faraday cage; 전산모사; Simulation
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2008.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039721
http://hdl.handle.net/10371/13100
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