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다마신 구리 전해 도금에서 정펄스 및 정펄스-역펄스 전류를 이용한 패턴 채움 연구 : Pattern Filling Using Pulse and Pulse-Reverse Current in Damascene Cu Metallization
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- Authors
- Advisor
- 김재정
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 금속 배선 ; metallization ; 구리 ; Cu ; 전해 도금 ; pulse electrodeposition ; 정펄스 ; pulse-reverse electrodeposition ; 정펄스-역펄스 ; 초등각
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2007.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043995
https://hdl.handle.net/10371/13393
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