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미세 소자 배선 형성용 구리 전해 도금 시 단차 평탄화 공정을 위한 BTA의 작용 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김재정 | - |
| dc.contributor.author | 황순식 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-18T07:58:25Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-18T07:58:25Z | - |
| dc.date.copyright | 2006. | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047893 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/13433 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2006. | kor |
| dc.format.extent | vii, 75 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 구리 | kor |
| dc.subject | copper | kor |
| dc.subject | 전해 도금 | kor |
| dc.subject | electrodeposition | kor |
| dc.subject | 단차 | kor |
| dc.subject | surface topographic variation | kor |
| dc.subject | 평탄제 | kor |
| dc.subject | leveler | kor |
| dc.subject | 평탄화 공정 | kor |
| dc.subject | leveling | kor |
| dc.subject | 과전착 | kor |
| dc.subject | overdeposition | kor |
| dc.subject | 유기 첨가제 | kor |
| dc.subject | organic additive | kor |
| dc.subject | BTA (benzotriazole) | kor |
| dc.subject | BTA (benzotriazole) | kor |
| dc.title | 미세 소자 배선 형성용 구리 전해 도금 시 단차 평탄화 공정을 위한 BTA의 작용 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 화학생물공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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