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Numerical studies on PACVD processes used for TiN multifunctional films using metal organic precursors : TiN 다용도 박막 증착에서의 금속 유기플라즈마를 이용한 화학 기상 증착법에 관한 수치해석적 연구
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- Authors
- Advisor
- 이경우
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 수치해석 ; Numerical simulation ; 장비 스케일업 ; Up Scaling ; 플라즈마 ; PACVD Process ; 실험분석 ; TiN ; Plasma Analysis ; Experiment analysis
- Description
- Thesis(doctor`s)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000045083
https://hdl.handle.net/10371/13523
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