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(A)study on crystallinity improvement of MILC poly-Si thin film : 금속유도측면결정화 방법을 이용해 결정화 시킨 다결정 실리콘 박막의 결정성 향상을 위한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주승기 | - |
| dc.contributor.author | 김민선 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-18T22:41:24Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-18T22:41:24Z | - |
| dc.date.copyright | 2007. | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042935 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/13566 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2007. | eng |
| dc.format.extent | xii, 101 장 | eng |
| dc.language.iso | en | eng |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | eng |
| dc.subject | 금속유도측면결정화 | eng |
| dc.subject | metal-induced lateral crystallization (MILC) | eng |
| dc.subject | 다결정 실리콘 | eng |
| dc.subject | polycrystalline silicon (poly-Si) | eng |
| dc.subject | 크리스탈 필터 | eng |
| dc.subject | crystal filter (CF) | eng |
| dc.subject | 박막 트랜지스터 | eng |
| dc.subject | thin film transistor (TFT) | eng |
| dc.title | (A)study on crystallinity improvement of MILC poly-Si thin film | eng |
| dc.title.alternative | 금속유도측면결정화 방법을 이용해 결정화 시킨 다결정 실리콘 박막의 결정성 향상을 위한 연구 | eng |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | eng |
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