2차원 Fin 구조에서의 Si 결정면 발달에 관한 연구

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2차원 Fin 구조에서의 Si 결정면 발달에 관한 연구 : Study on facet evolution on Si 2-D Fin structure

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	윤의준	-
dc.contributor.author	배덕규	-
dc.date.accessioned	2009-11-24T03:04:05Z	-
dc.date.available	2009-11-24T03:04:05Z	-
dc.date.copyright	2005.	-
dc.date.issued	2005	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000051049	kor
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/14296	-
dc.description	학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2005.	kor
dc.format.extent	vi, 35, ii 장	kor
dc.language.iso	ko	-
dc.publisher	서울대학교 대학원	kor
dc.subject	MOS-finFET	kor
dc.subject	MOS-finFET	kor
dc.subject	SEG	kor
dc.subject	SEG	kor
dc.subject	UHV-CVD	kor
dc.subject	UHV-CVD	kor
dc.subject	Adatom 확산	kor
dc.subject	Adatom diffusion	kor
dc.subject	결정면 길이	kor
dc.subject	Facet Length	kor
dc.subject	표면에너지	kor
dc.subject	Surface energy	kor
dc.title	2차원 Fin 구조에서의 Si 결정면 발달에 관한 연구	kor
dc.title.alternative	Study on facet evolution on Si 2-D Fin structure	kor
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	재료공학부	-
dc.description.degree	Master	kor

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