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반도체 배선용 저유전 물질에서 구리 확산에 대한 전기적, 기계적 특성 평가
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주영창 | - |
| dc.contributor.author | 이희찬 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T03:24:20Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T03:24:20Z | - |
| dc.date.copyright | 2004. | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000055758 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14340 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2004. | kor |
| dc.format.extent | ix, 66 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 저유전 물질 | kor |
| dc.subject | Low-k material | kor |
| dc.subject | 구리 확산 | kor |
| dc.subject | Cu drift | kor |
| dc.subject | 신뢰성 | kor |
| dc.subject | reliability | kor |
| dc.subject | TDDB | kor |
| dc.subject | TDDB | kor |
| dc.subject | C-V | kor |
| dc.subject | C-V | kor |
| dc.title | 반도체 배선용 저유전 물질에서 구리 확산에 대한 전기적, 기계적 특성 평가 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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