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원자층 증착법을 이용한 반도체 구리배선을 위한 WNxCy 확산방지막의 특성 분석에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김기범 | - |
| dc.contributor.author | 오수석 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T03:27:14Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T03:27:14Z | - |
| dc.date.copyright | 2004. | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000054932 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14350 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2004. | kor |
| dc.format.extent | xii, 105 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 확산방지막 | kor |
| dc.subject | Diffusion barrier | kor |
| dc.subject | 원자층 증착법 | kor |
| dc.subject | Atomic layer deposition | kor |
| dc.subject | WNxCy | kor |
| dc.subject | Wnxcy | kor |
| dc.subject | 투과전자현미경 | kor |
| dc.subject | Transmission electron microscopy (tem) | kor |
| dc.subject | 미세구조 | kor |
| dc.subject | Microstructure | kor |
| dc.title | 원자층 증착법을 이용한 반도체 구리배선을 위한 WNxCy 확산방지막의 특성 분석에 관한 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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