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고집적 FRAM 소자 제작을 위한 하부 Pt 전극의 분석 및 Pb(Zr,Ti)O₃박막의 특성 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황철성 | - |
| dc.contributor.author | 임지은 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:08:25Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:08:25Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058479 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14654 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | vii, 76 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | Pt전극 | kor |
| dc.subject | Pt electrode | kor |
| dc.subject | DC 마그네트론 스퍼터링 | kor |
| dc.subject | DC Magnetron Sputtering | kor |
| dc.subject | High Resolution XRD | kor |
| dc.subject | High Resolution XRD | kor |
| dc.subject | High Resolution TEM | kor |
| dc.subject | High Resolution TEM | kor |
| dc.subject | Pb(Zr35 | kor |
| dc.subject | Pb(Zr35 | kor |
| dc.subject | Ti65)O₃ | kor |
| dc.subject | Ti65)O₃ | kor |
| dc.title | 고집적 FRAM 소자 제작을 위한 하부 Pt 전극의 분석 및 Pb(Zr,Ti)O₃박막의 특성 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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