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열 필라멘트법에 의한 저온 다결정 실리콘 박막의 화학 기상 증착
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- Authors
- Advisor
- 김도연
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 ; Poly-Si ; 결정화 ; Silicon ; 실리콘 ; Crystallization ; 박막 ; Charged cluster model ; 전하를 띤 클러스터 모델 ; Thin film ; 화학 기상 증착 ; Hot filament chemical vapor deposition
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058138
https://hdl.handle.net/10371/14660
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