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CVD로 증착된 Ru 박막의 응력 거동 분석 및 결정립 성장 억제
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김형준 | - |
| dc.contributor.author | 임하진 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:22:34Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:22:34Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057668 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14683 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | xiv, 106 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | Ru | kor |
| dc.subject | Ru | kor |
| dc.subject | 박막 | kor |
| dc.subject | Thin film | kor |
| dc.subject | 전극 | kor |
| dc.subject | Electrode | kor |
| dc.subject | 응력 | kor |
| dc.subject | Stress | kor |
| dc.subject | 결정립 성장 | kor |
| dc.subject | Grain growth | kor |
| dc.subject | 배향성 | kor |
| dc.subject | Orientation | kor |
| dc.title | CVD로 증착된 Ru 박막의 응력 거동 분석 및 결정립 성장 억제 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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