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Sol-gel법으로 제조한 seed layer위에 sputtering법으로 증착한 PZT박막의 방향성 조정에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김현이 | - |
| dc.contributor.author | 김상욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:24:02Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:24:02Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057786 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14688 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | vi, 64 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 압전 | kor |
| dc.subject | PZT | kor |
| dc.subject | Seed layer | kor |
| dc.subject | Sol-gel | kor |
| dc.subject | Sputter | kor |
| dc.subject | Orientation | kor |
| dc.subject | Deposition rate | kor |
| dc.subject | Lead zirconium titanate | kor |
| dc.subject | Thin film | kor |
| dc.title | Sol-gel법으로 제조한 seed layer위에 sputtering법으로 증착한 PZT박막의 방향성 조정에 관한 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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