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마이크로 인장시험법을 이용한 MEMS용 소재의 기계적 거동해석
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 권동일 | - |
| dc.contributor.author | 이성훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:26:25Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:26:25Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057189 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14696 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | 67 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 멤스 | kor |
| dc.subject | MEMS | kor |
| dc.subject | 마이크로 인장시험법 | kor |
| dc.subject | Microtensile test | kor |
| dc.subject | 단결정 실리콘 | kor |
| dc.subject | Single-crystal silicon | kor |
| dc.subject | 알루미늄 | kor |
| dc.subject | Al film | kor |
| dc.subject | 파괴강도 | kor |
| dc.subject | Fracture strength | kor |
| dc.subject | 항복강도 | kor |
| dc.subject | Yield strength | kor |
| dc.subject | 유동곡선 | kor |
| dc.subject | Flow curve | kor |
| dc.title | 마이크로 인장시험법을 이용한 MEMS용 소재의 기계적 거동해석 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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