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성장 조건이 CVD를 이용한 실리콘 나노와이어 합성에 미치는 영향
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- Authors
- Advisor
- 김형준
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 실리콘 나노와이어 ; Silicon nanowire ; 기체-액체-고체 (V-L-S) 성장 기구 ; Vapor-Liquid-Solid (VLS) growth ; 공정 압력 ; pressure in CVD ; 유량 ; source gas flow rate ; 실리콘산화물 기판 ; silicon oxide substrate
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041098
https://hdl.handle.net/10371/14825
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