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결정학적 배향과 Pd 도핑이 SnO₂박막의 가스 감응 특성에 미치는 영향에 관한 연구 : Effect of crystallographic orientation and Pd doping on gas sensing properties in SnO2 thin films
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- Authors
- Advisor
- 홍성현
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- SnO2 thin film ; SnO2 박막 ; Pd-doped SnO2 thin film ; Pd-doped SnO2 박막 ; gas sensor ; 가스 센서 ; RF magnetron sputtering ; RF 마그네트론 스퍼터링법 ; sapphire substrate ; 사파이어 기판 ; crystallographic orientation ; 결정 배향성
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2007.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000045717
https://hdl.handle.net/10371/14827
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