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Deep RIE 공정을 이용한 박막형 공진기소자 및 필터의 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김형준 | - |
| dc.contributor.author | 안영배 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-25 | - |
| dc.date.available | 2009-11-25 | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041116 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14835 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2. | kor |
| dc.format.extent | ix, 100 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 박막형공진기 | kor |
| dc.subject | FBAR | kor |
| dc.subject | 압전층 | kor |
| dc.subject | piezoelectric layer | kor |
| dc.subject | AlN | kor |
| dc.subject | AlN | kor |
| dc.subject | 우선배향성 | kor |
| dc.subject | orientation | kor |
| dc.subject | rocking curve | kor |
| dc.subject | rocking curve | kor |
| dc.subject | deep reactive ion etching | kor |
| dc.subject | deep reactive ion etching | kor |
| dc.subject | 음향파 | kor |
| dc.subject | band pass filter | kor |
| dc.subject | 대역통과필터 | kor |
| dc.title | Deep RIE 공정을 이용한 박막형 공진기소자 및 필터의 제작 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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