열 필라멘트 법을 이용한 실리콘 화학 기상 증착 공정 중에 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자

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열 필라멘트 법을 이용한 실리콘 화학 기상 증착 공정 중에 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자 : Generation of Charged Silicon Nanoparticles during Hot Wire Chemical Vapor Deposition

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	황농문	-
dc.contributor.author	고민성	-
dc.date.accessioned	2009-11-25	-
dc.date.available	2009-11-25	-
dc.date.copyright	2007.	-
dc.date.issued	2007	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043696	kor
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/14844	-
dc.description	학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2007.	kor
dc.format.extent	70 장	kor
dc.language.iso	ko	-
dc.publisher	서울대학교 대학원	kor
dc.subject	다결정 실리콘	kor
dc.subject	Polycrystalline silicon	kor
dc.subject	전하를 띈 클러스터 이론	kor
dc.subject	The theory of charged clusters	kor
dc.subject	Hot wire CVD	kor
dc.subject	Hot wire CVD	kor
dc.subject	실리콘 나노입자	kor
dc.subject	Silicon nanopartilce	kor
dc.subject	양의 전하를 띈 실리콘 나노입자	kor
dc.subject	Positively charged silicon nanoparticle	kor
dc.subject	음의 전하를 띈 실리콘 나노입자	kor
dc.subject	Negatively charged silicon nanoparticle	kor
dc.subject	중성의 실리콘 나노입자	kor
dc.subject	neutral silicon nanopartilce	kor
dc.title	열 필라멘트 법을 이용한 실리콘 화학 기상 증착 공정 중에 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자	kor
dc.title.alternative	Generation of Charged Silicon Nanoparticles during Hot Wire Chemical Vapor Deposition	kor
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	재료공학부	-
dc.description.degree	Master	kor

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