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단원자 증착법(ALD)으로 증착한 HfO₂박막의 구조적 전기적 특성 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 황철성 | - |
dc.contributor.author | 서민하 | - |
dc.date.accessioned | 2009-11-25T02:37:26Z | - |
dc.date.available | 2009-11-25T02:37:26Z | - |
dc.date.copyright | 2006. | - |
dc.date.issued | 2006 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047500 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/15003 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2006. | kor |
dc.format.extent | ix, 91 장 | kor |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
dc.subject | HfO2 | kor |
dc.subject | SiN | kor |
dc.subject | ALD | kor |
dc.subject | crystallization | kor |
dc.subject | SIMS | kor |
dc.title | 단원자 증착법(ALD)으로 증착한 HfO₂박막의 구조적 전기적 특성 연구 | kor |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | kor |
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