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열 필라멘트 법을 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 공정 중 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자 : Charged silicon nano particles produced during Low Temperature Poly-Si (LTPS) thin film processes using Hot Wire CVD
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김도연 | - |
| dc.contributor.author | 이성수 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-25T02:47:49Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-25T02:47:49Z | - |
| dc.date.copyright | 2006. | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000049246 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/15027 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2006. | kor |
| dc.format.extent | 76 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 다결정 실리콘 | kor |
| dc.subject | Poly-Si | kor |
| dc.subject | 전하를 띈 클러스터 모델 | kor |
| dc.subject | Theory of charged cluster | kor |
| dc.subject | 열 필라멘트 화학 기상 증착 | kor |
| dc.subject | How Wire Chemical Vapor Deposition Silicon nano particles | kor |
| dc.subject | 실리콘 나노입자 | kor |
| dc.title | 열 필라멘트 법을 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 공정 중 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자 | kor |
| dc.title.alternative | Charged silicon nano particles produced during Low Temperature Poly-Si (LTPS) thin film processes using Hot Wire CVD | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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