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고집적 반도체용 구리 배선에서의 패턴 선폭에 따른 전기 비저항 측정
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 한흥남 | - |
| dc.contributor.author | 김재훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-25T02:53:02Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-25T02:53:02Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041106 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/15041 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2. | kor |
| dc.format.extent | ix, 71 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 구리 | kor |
| dc.subject | copper | kor |
| dc.subject | 전기 비저항 | kor |
| dc.subject | resistivity | kor |
| dc.subject | 선폭 | kor |
| dc.subject | line width | kor |
| dc.subject | 도금 | kor |
| dc.subject | electroplating | kor |
| dc.subject | 집속 이온 빔 | kor |
| dc.subject | focused ion beam | kor |
| dc.subject | 표면 거칠기 | kor |
| dc.subject | roughness | kor |
| dc.title | 고집적 반도체용 구리 배선에서의 패턴 선폭에 따른 전기 비저항 측정 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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