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화학 기상 증착을 통한 실리콘 나노와이어의 합성 중에 생성 되는 하전된 나노 입자 : Generation of Charged Nanoparticles during Nanowire growth by Si Chemical Vapor Deposition
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- Authors
- Advisor
- 황농문
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 실리콘 나노와이어 ; silicon nanowire ; 하전된 나노입자 ; charged nanoparticle ; SiCl4 ; SiCl4 ; SiH4 ; SiH4 ; 상온 포획 ; 상온 포획 ; 저온 증착 ; 저온 증착 ; 화학 기상 증착 ; 화학 기상 증착
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부, 2009.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000036858
https://hdl.handle.net/10371/15054
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