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Fabrication method of size controllable nano scale pattern by shape memory lithography
형상 기억 리소그라피를 이용한 사이즈 조절 가능 나노 스케일 패턴의 제작 방법

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Authors
최재훈
Advisor
서갑양
Major
기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공)
Issue Date
2011-08
Publisher
서울대학교 대학원
Keywords
형상기억 폴리머나노 임프린트 공정사이즈 축소 공정접착력Fabrication method of size controllable nano scale pattern by shape memory lithography
Description
학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공), 2011.8. 서갑양.
Language
eng
URI
https://hdl.handle.net/10371/157437

http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000031659
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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Mechanical Aerospace Engineering (기계항공공학부)Theses (Master's Degree_기계항공공학부)
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