Publications
Detailed Information
Fabrication method of size controllable nano scale pattern by shape memory lithography : 형상 기억 리소그라피를 이용한 사이즈 조절 가능 나노 스케일 패턴의 제작 방법
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 서갑양
- Major
- 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공)
- Issue Date
- 2011-08
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 형상기억 폴리머 ; 나노 임프린트 공정 ; 사이즈 축소 공정 ; 접착력 ; Fabrication method of size controllable nano scale pattern by shape memory lithography
- Description
- 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공), 2011.8. 서갑양.
- Language
- eng
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/157437
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000031659
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.