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Effects of the functional groups of complexing agent and Cu Oxide formation on the Cu CMP slurry performance : 착물 형성제의 작용기 및 구리 산화막 형성이 구리 화학적 기계적 연마 슬러리 거동에 미치는 영향
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김재정 | - |
| dc.contributor.author | 김영준 | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-10T04:54:57Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-10T04:54:57Z | - |
| dc.date.issued | 2011-02 | - |
| dc.identifier.other | 000000029077 | - |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/159367 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000029077 | ko_KR |
| dc.description | 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 화학생물공학부, 2011.2. 김재정. | - |
| dc.format.extent | xv, 139장 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | - |
| dc.subject | 구리 화학적 기계적 연마 공정 | - |
| dc.subject | 세리아 슬러리 | - |
| dc.subject | 작용기 | - |
| dc.subject | 착물 형성제 | - |
| dc.subject | 구리 산화막 | - |
| dc.subject | Cu | - |
| dc.subject | CMP | - |
| dc.subject | ceria slurry | - |
| dc.subject | functional group | - |
| dc.subject | complexing agent | - |
| dc.subject | Cu oxide | - |
| dc.title | Effects of the functional groups of complexing agent and Cu Oxide formation on the Cu CMP slurry performance | - |
| dc.title.alternative | 착물 형성제의 작용기 및 구리 산화막 형성이 구리 화학적 기계적 연마 슬러리 거동에 미치는 영향 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.type | Dissertation | - |
| dc.description.degree | Doctor | - |
| dc.contributor.affiliation | 화학생물공학부 | - |
| dc.date.awarded | 2011-02 | - |
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