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Fabrication of sub-10nm nano-channels for inoic transistor : 이온 트랜지스터 제작을 위한 10nm 이하의 나노채널 제작
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- Authors
- Advisor
- 김기범
- Major
- 재료공학부
- Issue Date
- 2011-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 나노플루익스 ; 이온 전기장 효과 트랜지스터 ; 전자빔 리소그라피 ; 원자 증착법 ; 자기 막음 공정 ; nanofluidics ; ionic field effect trasistors ; electron beam lithography ; atomic layer deposition ; self-sealing process
- Description
- 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 재료공학부, 2011.2. 김기범.
- Language
- kor
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/159517
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000029781
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