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자기장이 인가된 유도 결합형 플라즈마의 이온 에너지 분포에 관한 연구 : Study on the ion energy distribution of the magnetized inductively coupled plasma
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- Authors
- Advisor
- 황기웅
- Major
- 전기. 컴퓨터공학부
- Issue Date
- 2011-08
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- MICP ; ICP ; 이온 에너지 분석기 ; Ar plasma ; 이온 에너지 분포 ; ion energy analyzer ; ion energy distribution
- Description
- 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 전기. 컴퓨터공학부, 2011.8. 황기웅.
- Language
- kor
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/159533
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000031670
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