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Synthesis and characterization of porogen-bridged organosilicate polymers for spin-on ultra-low dielectric films : 초-저유전상수 박막 응용을 위한 유기실리케이트 고분자합성 및 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 윤도영 | - |
| dc.contributor.author | 장성신 | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-10T06:25:37Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-10T06:25:37Z | - |
| dc.date.issued | 2011-02 | - |
| dc.identifier.other | 000000029568 | - |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/160192 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000029568 | ko_KR |
| dc.description | 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 화학부, 2011.2. 윤도영. | - |
| dc.format.extent | 55 leaves | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | - |
| dc.subject | 초 저 유전상수 | - |
| dc.subject | 기공형성제 | - |
| dc.subject | 유기실리케이트 | - |
| dc.subject | 나노기공유기실리케이트 | - |
| dc.subject | ultralow-dielectric constant | - |
| dc.subject | porogen bridged monomers | - |
| dc.subject | nanoporous thin films | - |
| dc.subject | pore structures | - |
| dc.title | Synthesis and characterization of porogen-bridged organosilicate polymers for spin-on ultra-low dielectric films | - |
| dc.title.alternative | 초-저유전상수 박막 응용을 위한 유기실리케이트 고분자합성 및 특성에 관한 연구 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.type | Dissertation | - |
| dc.description.degree | Master | - |
| dc.contributor.affiliation | 화학부 | - |
| dc.date.awarded | 2011-02 | - |
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