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팔라듐 코팅된 본딩 와이어의 모재와 코팅층 계면에 관한 연구

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor오규환-
dc.contributor.author김종범-
dc.date.accessioned2019-10-18T15:36:43Z-
dc.date.available2019-10-18T15:36:43Z-
dc.date.issued2019-08-
dc.identifier.other000000157149-
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/161047-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr/common/orgView/000000157149ko_KR
dc.description학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :공과대학 재료공학부,2019. 8. 오규환.-
dc.description.abstract반도체 공정 중 패키징 와이어 본딩에 사용되는 팔라듐 코팅 은 합금 와이어에 관하여 열처리 실험 및 분석을 진행하였다.
팔라듐 코팅층의 두께에 따라, 수십 nm 으로 얇아질 경우 은 합금 융점 이후에 DSC 흡열 픽이 확인 되었다.
이는 코팅층 두께에 따라 흡열픽의 위치가 달라졌으며, 코팅층이 얇아질수록 융점 강하 현상이 일어난 것으로 보인다.
SEM-TEM-EDS 분석 결과 열처리 후 은 합금 모재와 팔라듐 코팅층 사이에서 팔라듐과 은의 상호 확산이 일어났다.
은 합금 모재와 팔라듐 코팅층 계면에 공동이 형성되었고, 공동은 팔라듐 코팅층과 은 합금 와이어 계면에서 팔라듐과 은의 확산 속도 차이에 의해 발생한 것으로, 확산 속도가 빠른 은 합금 와이어 계면 부근에 공동이 발생하였다.
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dc.description.tableofcontents1. 서론
1.1 연구의 필요성............................................8
1.2 연구 방향................................................10
2. 이론적 배경
2.1 Free air ball의 형성.....................................11
2.2 나노 구조체 융점 강하 현상...............................12
2.3 Silver-Palladium 고상 확산...............................14
3. 실험 방법
3.1 열처리 실험..............................................16
3.2 DSC 분석.................................................16
3.3 미세조직 분석............................................17
4. 실험 결과 및 고찰..........................................18
5. 결론........................................................43
6. 참고 문헌...................................................44
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dc.language.isokor-
dc.publisher서울대학교 대학원-
dc.subject패키징-
dc.subject본딩 와이어-
dc.subject팔라듐-
dc.subject-
dc.subject확산-
dc.subject공동-
dc.subject.ddc620.1-
dc.title팔라듐 코팅된 본딩 와이어의 모재와 코팅층 계면에 관한 연구-
dc.typeThesis-
dc.typeDissertation-
dc.contributor.department공과대학 재료공학부-
dc.description.degreeMaster-
dc.date.awarded2019-08-
dc.identifier.uciI804:11032-000000157149-
dc.identifier.holdings000000000040▲000000000041▲000000157149▲-
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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Materials Science and Engineering (재료공학부)Theses (Master's Degree_재료공학부)
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