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팔라듐 코팅된 본딩 와이어의 모재와 코팅층 계면에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 오규환 | - |
dc.contributor.author | 김종범 | - |
dc.date.accessioned | 2019-10-18T15:36:43Z | - |
dc.date.available | 2019-10-18T15:36:43Z | - |
dc.date.issued | 2019-08 | - |
dc.identifier.other | 000000157149 | - |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/161047 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr/common/orgView/000000157149 | ko_KR |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :공과대학 재료공학부,2019. 8. 오규환. | - |
dc.description.abstract | 반도체 공정 중 패키징 와이어 본딩에 사용되는 팔라듐 코팅 은 합금 와이어에 관하여 열처리 실험 및 분석을 진행하였다.
팔라듐 코팅층의 두께에 따라, 수십 nm 으로 얇아질 경우 은 합금 융점 이후에 DSC 흡열 픽이 확인 되었다. 이는 코팅층 두께에 따라 흡열픽의 위치가 달라졌으며, 코팅층이 얇아질수록 융점 강하 현상이 일어난 것으로 보인다. SEM-TEM-EDS 분석 결과 열처리 후 은 합금 모재와 팔라듐 코팅층 사이에서 팔라듐과 은의 상호 확산이 일어났다. 은 합금 모재와 팔라듐 코팅층 계면에 공동이 형성되었고, 공동은 팔라듐 코팅층과 은 합금 와이어 계면에서 팔라듐과 은의 확산 속도 차이에 의해 발생한 것으로, 확산 속도가 빠른 은 합금 와이어 계면 부근에 공동이 발생하였다. | - |
dc.description.tableofcontents | 1. 서론
1.1 연구의 필요성............................................8 1.2 연구 방향................................................10 2. 이론적 배경 2.1 Free air ball의 형성.....................................11 2.2 나노 구조체 융점 강하 현상...............................12 2.3 Silver-Palladium 고상 확산...............................14 3. 실험 방법 3.1 열처리 실험..............................................16 3.2 DSC 분석.................................................16 3.3 미세조직 분석............................................17 4. 실험 결과 및 고찰..........................................18 5. 결론........................................................43 6. 참고 문헌...................................................44 | - |
dc.language.iso | kor | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | - |
dc.subject | 패키징 | - |
dc.subject | 본딩 와이어 | - |
dc.subject | 팔라듐 | - |
dc.subject | 은 | - |
dc.subject | 확산 | - |
dc.subject | 공동 | - |
dc.subject.ddc | 620.1 | - |
dc.title | 팔라듐 코팅된 본딩 와이어의 모재와 코팅층 계면에 관한 연구 | - |
dc.type | Thesis | - |
dc.type | Dissertation | - |
dc.contributor.department | 공과대학 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | - |
dc.date.awarded | 2019-08 | - |
dc.identifier.uci | I804:11032-000000157149 | - |
dc.identifier.holdings | 000000000040▲000000000041▲000000157149▲ | - |
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