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열필라멘트법을 이용한 저온 실리콘 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 전하 운반체의 거동 : Generation of electrically charged carriers during low temperature deposition of Si films by hot wire chemical vapor deposition
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황농문 | - |
| dc.contributor.author | 양승민 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-27T05:35:12Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-27T05:35:12Z | - |
| dc.date.copyright | 2009. | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000036854 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/16629 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부, 2009.2. | kor |
| dc.format.extent | 64장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 저온 다결정 실리콘 | kor |
| dc.subject | 하전된 나노입자 | kor |
| dc.subject | 열필라멘트 화학기상증착 | kor |
| dc.subject | FE-SEM | kor |
| dc.subject | Raman spectroscopy | kor |
| dc.title | 열필라멘트법을 이용한 저온 실리콘 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 전하 운반체의 거동 | kor |
| dc.title.alternative | Generation of electrically charged carriers during low temperature deposition of Si films by hot wire chemical vapor deposition | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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