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Charge-storage synapse using In-Ga-Zn-Oxide Thin Film Transistor for training Deep Neural Network : 인듐-갈륨-징크-옥사이드 박막 트랜지스터를 사용한 딥 뉴럴 네트워크 학습용 전하저장형 시냅스

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor김상범-
dc.contributor.author홍상준-
dc.date.accessioned2022-03-25T05:58:43Z-
dc.date.available2022-03-25T05:58:43Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.other000000168266-
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/177513-
dc.identifier.urihttps://dcollection.snu.ac.kr/common/orgView/000000168266ko_KR
dc.description학위논문(석사) -- 서울대학교대학원 : 공과대학 재료공학부(하이브리드 재료), 2021.8. 김상범.-
dc.description.abstract실리콘 트랜지스터와 커패시터를 활용한 CMOS 기반의 전하 저장형 시냅스 구조는 비휘발성 소자 기반 저항 변화형 시냅스 구조 대비 선형적이고 대칭적인 가중치 업데이트가 가능해 딥 뉴럴 네트워크(DNN) 온 칩 학습용 가속기 시냅스 요구사항을 만족하여 소프트웨어 수준의 학습 정확도를 달성하였음이 알려져 있다. 하지만 CMOS 기반의 시냅스는 트랜지스터 누설전류로 인해 학습된 가중치를 잃어버리게 되면 학습 정확도가 하락하는 문제를 가지고 있어 커패시터 크기 축소가 어렵다. 이번 연구에서는 누설전류가 낮은 IGZO TFT를 활용하여 선형적이고 대칭적 가중치 업데이트 특성을 가지도록 새로운 구조의 전하저장형 시냅스를 제안하고, 제작하였다. 또한 합리적인 커패시터 면적 축소가 가능한 IGZO TFT 누설전류 수준을 제안하고 제작한 소자의 실력치와 비교하였다. 그 결과 IGZO TFT를 활용한 2T-1C 구조에서 3mV/step Depression 동작을 검증했고, 제작한 IGZO TFT의 누설전류 수준이 ~2.5x10-16A/um임을 확인하였다. 그리고 IGZO TFT를 사용한 5T-1C 시냅스 구조에서 100 레벨의 Potentiation 및 Depression 동작을 검증하였다.-
dc.description.abstractThe CMOS-based charge storage synapse structure using silicon transistors and capacitors enables linear and symmetric weight updates, unlike the non-volatile element-based resistance-variable synaptic structure. It is known that a level of learning accuracy has been achieved. However, the CMOS-based synapse has a problem in that the learned weights are lost due to the leakage current of the transistor, so the learning accuracy decreases, thus it is difficult to reduce the size of the capacitor.
In this study, a charge storage type synapse with a new structure was proposed and fabricated using an IGZO TFT with low leakage current to have a linear and symmetric weight update characteristic. In addition, the IGZO TFT leakage current level, which can reduce the area of a reasonable capacitor, was proposed and compared with the capability of the manufactured device. As a result, 3mV/step depression operation was verified in the 2T-1C structure using IGZO TFT, and the leakage current level of the manufactured IGZO TFT was confirmed to be ~2.5E-16A/um. And 100-levels of potentiation and depression operations were verified in 5T-1C synaptic structures using IGZO TFT.
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dc.description.tableofcontents1. 서 론 1
1.1 이상적인 인공 신경망 시냅스 소자 요구사항 1
1.2 CMOS 기반 시냅스 소자의 장점과 한계 3
2. 문헌연구 4
2.1 IGZO TFT 소자 4
2.2 커패시터 소자 5
3. 실험 및 분석 방법 6
3.1 IGZO TFT 소자 제작 6
3.2 커패시터 소자 제작 9
3.3 시냅스 소자 제작 11
3.3.1 CMOS 기반 시냅스 소자와의 비교 11
3.3.2 IGZO TFT 활용 시냅스 소자 회로 구조 15
3.4 소자 레이아웃 및 공정 프로세스 디자인 18
4. 결과 및 논의 25
4.1 IGZO TFT 기반 전하저장형 시냅스 소자 동작특성 25
4.1.1 기초 소자 특성 25
4.1.2 Off Leakage 특성 27
4.1.3 Potentiation update 37
4.1.4 Depression update 39
4.1.5 시냅스 소자 가중치 읽기 동작 41
4.2 IGZO TFT 기반 전하저장형 시냅스 가중치 거동 42
4.2.1 Update 특성 42
4.2.2 Retention 특성 50

제 5 장 결 론 56
감사의말 58
참고문헌 59
Abstract 63
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dc.format.extentvi, 64-
dc.language.isokor-
dc.publisher서울대학교 대학원-
dc.subject전하저장형 시냅스-
dc.subject선형적이고 대칭적 가중치 갱신-
dc.subject낮은 누설전류-
dc.subject긴 가중치 전하 보유시간-
dc.subject인듐-갈륨-징크-산화물 박막 트랜지스터-
dc.subjectCharge storage type synapse-
dc.subjectlinear and symmetric weight update-
dc.subjectlow leakage current-
dc.subjectlong retention time-
dc.subjectindium-galliumzinc-oxide thin film transistor-
dc.subject.ddc620.11-
dc.titleCharge-storage synapse using In-Ga-Zn-Oxide Thin Film Transistor for training Deep Neural Network-
dc.title.alternative인듐-갈륨-징크-옥사이드 박막 트랜지스터를 사용한 딥 뉴럴 네트워크 학습용 전하저장형 시냅스-
dc.typeThesis-
dc.typeDissertation-
dc.contributor.AlternativeAuthorSangjun Hong-
dc.contributor.department공과대학 재료공학부(하이브리드 재료)-
dc.description.degree석사-
dc.date.awarded2021-08-
dc.identifier.uciI804:11032-000000168266-
dc.identifier.holdings000000000046▲000000000053▲000000168266▲-
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