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MEMS용 Si 소재의 온도에 따른 탄성특성 변화에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 권동일 | - |
| dc.contributor.author | 정성훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T02:35:16Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T02:35:16Z | - |
| dc.date.copyright | 2002. | - |
| dc.date.issued | 2002 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000060785 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30402 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2002. | ko |
| dc.format.extent | ii, 49 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | MEMS용 Si 소재의 온도에 따른 탄성특성 변화에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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