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유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 (Ti,Cr)N 박막의 기계적 특성 평가
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- Authors
- Advisor
- 이정중
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000064798
https://hdl.handle.net/10371/30459
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