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A study on the deposition behavior of amorphous silicon and silicon-germanium thin film for the formation of quantum dot of single electron : 단일 전자 소자용 양자점 형성을 위한 비정질 실리콘과 실리콘-게르마늄 박막의 증착 거동에 대한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김기범 | - |
| dc.contributor.author | 이동훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T02:44:30Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T02:44:30Z | - |
| dc.date.copyright | 2000. | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000070089 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30634 | - |
| dc.description | Thesis (master`s)--서울대학교 대학원 :금속공학과,2000. | en |
| dc.format.extent | vii, 67 p. | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.title | A study on the deposition behavior of amorphous silicon and silicon-germanium thin film for the formation of quantum dot of single electron | en |
| dc.title.alternative | 단일 전자 소자용 양자점 형성을 위한 비정질 실리콘과 실리콘-게르마늄 박막의 증착 거동에 대한 연구 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | en |
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