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Ta(OC[2]H[5])[5] 와 NH3를 사용하여 증착한 CVD-TaON의 증착 기구와 전기적 성질에 대한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 김기범 | - |
dc.contributor.author | 김병성 | - |
dc.date.accessioned | 2010-01-15T02:45:48Z | - |
dc.date.available | 2010-01-15T02:45:48Z | - |
dc.date.copyright | 2000. | - |
dc.date.issued | 2000 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068301 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30665 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,2000. | ko |
dc.format.extent | xi, 84 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | Ta(OC[2]H[5])[5] 와 NH3를 사용하여 증착한 CVD-TaON의 증착 기구와 전기적 성질에 대한 연구 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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