Publications
Detailed Information
Cu 배선공정에서 Al 중간층을 이용한 CVD-TiN 확산방지막의 성능 향상에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김기범 | - |
| dc.contributor.author | 김경호 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T02:45:51Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T02:45:51Z | - |
| dc.date.copyright | 2000. | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068298 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30666 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,2000. | ko |
| dc.format.extent | ix, 64 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | Cu 배선공정에서 Al 중간층을 이용한 CVD-TiN 확산방지막의 성능 향상에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
- Appears in Collections:
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.