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정전용량 감지 측면형 자이로스코프 어레이에 관한 연구 : A Study on the lateral gyroscope array with capacitive detection
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- Authors
- Advisor
- 전국진
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 관광센서 ; intertial sensor ; 자이로스코프 ; gyroscope ; 어레이 센서 ; array sensor ; 자이로스코프 어레이 ; gyroscope array ; 표면 마이크 로머시닝 ; comb drive actuator
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000063498
https://hdl.handle.net/10371/30746
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