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단결정 실리콘 미러판과 알루미늄 스프링을 사용한 초소형 전자력 구동 광 변조기에 관한 연구 : A Study on electromagnetic mirromirror with single crystal silicon mirror plate and aluminum spring
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용권 | - |
| dc.contributor.author | 지창현 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:17:22Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:17:22Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000066394 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30776 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | ko |
| dc.format.extent | xi, 147 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 마이크로 미러 | ko |
| dc.subject | MOXC | ko |
| dc.subject | 전자력 구동 | ko |
| dc.subject | optical MEMS | ko |
| dc.subject | 표면 미세가공기술 | ko |
| dc.subject | mirromirror | ko |
| dc.subject | 몸통 미세가공기술 | ko |
| dc.subject | electromagnetic actuation | ko |
| dc.subject | surface micromachining | ko |
| dc.subject | bulk micromachining | ko |
| dc.title | 단결정 실리콘 미러판과 알루미늄 스프링을 사용한 초소형 전자력 구동 광 변조기에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | A Study on electromagnetic mirromirror with single crystal silicon mirror plate and aluminum spring | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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