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MEMS 기술을 이용한 비연성된 평면 진동형 방식의 관성 항법 장치용 마이크로자이로스코프의 설계, 제작 및 평가에 관한 연구 : A Design, fabrication and measurement of in-plane vibrating decoupled microgyroscope with INS grade performance
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용권 | - |
| dc.contributor.author | 임형택 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:17:27Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:17:27Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000066392 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30778 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | ko |
| dc.format.extent | xiii, 166 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 마이크로자이로스코프 | ko |
| dc.subject | microgyroscope | ko |
| dc.subject | 감도 | ko |
| dc.subject | MEMS | ko |
| dc.subject | 정전 용량 감지 | ko |
| dc.subject | sensitivity | ko |
| dc.subject | 기생 용량 | ko |
| dc.subject | capacitive detection | ko |
| dc.subject | 모드 분리 | ko |
| dc.subject | parasitic capacitance | ko |
| dc.subject | decoupled mode | ko |
| dc.title | MEMS 기술을 이용한 비연성된 평면 진동형 방식의 관성 항법 장치용 마이크로자이로스코프의 설계, 제작 및 평가에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | A Design, fabrication and measurement of in-plane vibrating decoupled microgyroscope with INS grade performance | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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