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전자력을 이용한 45도 가동 초소형 광 변조기의 제작
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 초소형 광 변조기 ; micromirror ; 전자력 구동 ; electromagnetic operation ; 알루미늄 미세 가공 기술 ; aluminum micromac sacrificial layer ; 희생층 ; clamping voltage ; 고정 전압 ; response time ; 응답 시간
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065206
https://hdl.handle.net/10371/31104
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