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단결정 실리콘을 이용한 기어형 액튜에이터의 제작
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 전국진 | - |
dc.contributor.author | 이준엽 | - |
dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:35:54Z | - |
dc.date.available | 2010-01-15T04:35:54Z | - |
dc.date.copyright | 2001. | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065187 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/31114 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | ko |
dc.format.extent | 41 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.subject | 몸체 미세가공기술 | ko |
dc.subject | Bulk micromachining | ko |
dc.subject | 충격형 미세 구동기 | ko |
dc.subject | micro impact actuator | ko |
dc.subject | 단결정 실리콘 | ko |
dc.subject | single crystalline silicon | ko |
dc.subject | 기어 | ko |
dc.subject | gear | ko |
dc.title | 단결정 실리콘을 이용한 기어형 액튜에이터의 제작 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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