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화학증폭형 감광막의 거칠기 예측을 위한 분자단위 시뮬레이션
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 전국진 | - |
| dc.contributor.author | 이우진 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:36:16Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:36:16Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065179 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/31122 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | ko |
| dc.format.extent | 32 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | Chemically amplified resists | ko |
| dc.subject | 화학증폭형 감광막 | ko |
| dc.subject | Resist roughness | ko |
| dc.subject | 감광막 거칠기 | ko |
| dc.subject | Molecular-scale lithography | ko |
| dc.subject | 분자단위 시뮬레이션 | ko |
| dc.title | 화학증폭형 감광막의 거칠기 예측을 위한 분자단위 시뮬레이션 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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