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영구자석과 전자석이 혼합된 자기베어링을 이용한 초정밀 자기부상 스테이지의 미세 운동 제어 특성 : Fine motion control characteristics of magnetically levitated (maglev) ultra precision stage using PMEM hybrid magnetic bearing
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- Authors
- Advisor
- 한동철
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- active magnetic bearing ; 자기베어링 ; maglev stage ; 자기부상 스테이지 ; PM/EM hybrid bearing ; 미세 운동 제어 ; permanent magnet biased magnetic bearing ; 오차 보정 ; ultra precision ; 직선이송 스테이지
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000066377
https://hdl.handle.net/10371/31797
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