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고정밀 거동 제어를 위한 자기 부상 스테이지에 관한 연구 : A Study on the magnetic levitation stage for high precision motion control
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 한동철 | - |
| dc.contributor.author | 김의석 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T06:01:54Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T06:01:54Z | - |
| dc.date.copyright | 2000. | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068973 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/31821 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :기계설계학과,2000. | ko |
| dc.format.extent | xiv, 172 p. | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 자기 베어링 | ko |
| dc.subject | magnetic bearing | ko |
| dc.subject | 고정밀 | ko |
| dc.subject | high precision | ko |
| dc.subject | 직선 이송 스테이지 | ko |
| dc.subject | linear motion stage | ko |
| dc.subject | 정전 용량형 센서 | ko |
| dc.subject | capacitive sensor | ko |
| dc.subject | LQG 서보 제어 | ko |
| dc.subject | LQG servo control | ko |
| dc.title | 고정밀 거동 제어를 위한 자기 부상 스테이지에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | A Study on the magnetic levitation stage for high precision motion control | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 기계설계학과 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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