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고속 열처리 공정기내에서의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 열적 조건의 최적화
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- Authors
- Advisor
- 이준식
- Issue Date
- 2002
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2002.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000061554
https://hdl.handle.net/10371/33706
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