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미세구조물을 위한 알루미늄 박막의 잔류응력과 응력기울기에 대한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용권 | - |
| dc.contributor.author | 김윤진 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-17T04:51:12Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-17T04:51:12Z | - |
| dc.date.copyright | 1999. | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000072292 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/35556 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,1999. | ko |
| dc.format.extent | ii, 33 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 미세구조물을 위한 알루미늄 박막의 잔류응력과 응력기울기에 대한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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