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Sidewall 구조를 이용한 미세 선폭 구현과 nMOSFET에의 적용
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 박병국 | - |
| dc.contributor.author | 성석강 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-18T05:37:13Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-18T05:37:13Z | - |
| dc.date.copyright | 1999. | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000072455 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/36642 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,1999. | ko |
| dc.format.extent | ii, 40 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | Sidewall 구조를 이용한 미세 선폭 구현과 nMOSFET에의 적용 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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