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몸체 미세 가공 기술을 이용한 비틀림형 실리콘 가속도계의 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 전국진 | - |
| dc.contributor.author | 석선호 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-18T05:42:22Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-18T05:42:22Z | - |
| dc.date.copyright | 1999. | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000072450 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/36652 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,1999. | ko |
| dc.format.extent | 36 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 몸체 미세 가공 기술을 이용한 비틀림형 실리콘 가속도계의 제작 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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