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프레넬회절의 이해를 높이기 위한 실험방법과 시뮬레이션 도구 개발에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 이성묵
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- Fresnel 회절 ; Lithography ; Excel Macro
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :과학교육과 물리전공,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057461
https://hdl.handle.net/10371/42219
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